Strukturierung von Materialien mit Laser
Präzise Strukturierung von TCO-Schichten

Die LEO Laser­serie mit ihren verschiedenen Varianten (LEO, LEO 532, LEO Mark) eignet sich für unter­schied­lichste Auf­gaben im Bereich der Struktur­ierung. Die PHOTON ENERGY hat sich insbesondere mit den Struktur­ierungs­schritten beschäftigt, die bei der Herstellung von Displays und Solar­zellen in Dünnschicht­technologie maßgebend sind.

Eine LEO Strahl­quelle auf Basis eines Vanadat Lasers mit 1064 nm ist her­vor­ragend geeignet für die präzise Struktur­ierung von TCO Schichten.

Die frequenz­ver­doppelten Varianten der LEO Serie sind besonders geeignet für die selektive Struktur­ierung der funktionellen Absorber­schicht sowie der Metallisierungs­schicht.

Die erzeugten Struktur­breiten liegen im Bereich von 15 µm, wobei dies natürlich stark von der verwendeten Optik abhängt.

Die hohe Zuverlässig­keit und die Stabilität der LEO Strahl­quellen (LEO, LEO 532) haben sich speziell in diesem anspruchs­vollen Umfeld bewährt.

 

Geeignete Laserstrahlquellen:

LEO
LEO 532
LEO Mark
LEO Mark 532
CEPHEUS

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