Laserbohren mit Ultrakurzpulslasern erlaubt durch hohe Energiedichten innerhalb sehr kurzer Zeit eine Bohrung die ohne Wärmeeinfluss der Umgebung auskommt. Der Vorteil daran ist, dass eine sehr präzise Kante entsteht und Schmelzaufwürfe am Rand der Bohrung dadurch verhindert werden. 

Ein weiterer Vorteil des Bohrens mit Lasern ist, dass dieser Prozess fast keine Einschränkungen hat, wenn es um verschiedene Materialien geht. Von Metallen hinzu Gläser, Keramik, Kunststoffe oder Substraten lassen sich bohren. 

Am besten geeignet sind dabei dünne Materialien oder Folien, da tiefe Bohrungen nicht wirtschaftlich sind. Besonders bieten sich Wafer aus verschiedenen Materialien an, wie sie in der Mikroelektronik verwendet werden.